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激光干涉比长仪定制开发
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激光干涉比长仪定制开发
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时间:2019-07-22
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激光干涉比长仪定制开发


1、项目简介

激光干涉比长仪又称线纹工作基准,是用于高等别线纹尺量值溯源的重要精密仪器。其基本原理为利用精密激光干涉测长、高精度光电显微镜动态瞄准、精密传动导轨、精密触发与控制系统、CCD等关键技术,可以实现线纹尺、激光干涉仪及位移传感器等的动态高精度校准。装置主体采用天然花岗岩结构,基于变形分析和建模进行了精心设计,床身尺寸34m×1m×07m,整体重达9吨,导轨直线度实测优于1μmm,可有效避免移动工作台运动导致的机械变形,抗震性能好,长期稳定性好。此外,显微镜工作距离达到28mm,适用于各种厚度的线纹尺刻线面朝向物镜或背向物镜检测,线纹尺校准与其使用状态一致,保障了量值传递的精度和可靠性。

 

2、产品参数

始建于上世纪八十年代,测量范围为(0~1000mm,是西南地区唯一可承担高等别线纹尺(玻璃、金属)、光栅尺、各类线位移传感器测量装置量值溯源传递的工作基准装置,同时该装置的研发也获得了1988年国家科技进步二等奖殊荣。因此该装置具有极为重要的社会经济价值。

 

1)、测量范围:(0~1000mm

2)、测量不确定度:U0.99=(0.1+0.1L)μmk=2;(注:L的单位为米);

3)、测温精度:0.01℃;

4)、大气压精度(hPa0.6

5)、导轨直线度(μm0.8


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